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包括透射电子显微镜(TEM)、二次离子质谱仪(SIMS)和原子力显微镜(AFM)等 。可进行微纳形貌、结构和化学组成的分析与表征,点、线结构分辨率可小于1nm,三维结构极限分辨率小于1μm;成分分辨率探测极限可达ppm-ppb级的。


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